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一、核心反应与接触部件：以高洁净不锈钢为主导
硅烷的合成与提纯过程涉及高温、高压、强还原性及腐蚀性介质，对设备材质提出极高要求。在直接接触硅烷气体或反应中间体的部位，必须采用高洁净度、低析出、耐腐蚀的材料。
反应器与蒸馏塔：
作为生产系统的核心，反应器（如流化床反应器）和精馏塔通常选用316L不锈钢。该材料具有优异的耐氯离子腐蚀性能和良好的高温强度，尤其适用于含氢、氯的复杂工况。为防止金属离子污染产品，内表面必须进行电解抛光（EP）处理，表面粗糙度控制在Ra≤0.2μm，显著降低颗粒物和金属杂质的吸附与释放。
管道系统与阀门：
所有输送硅烷及其前驱体（如三氯氢硅、四氯化硅）的管道、弯头、法兰及
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