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高压应力下功率SOI-LIGBT器件性能参数退化机制与应对策略探究
一、引言
1.1研究背景与意义
在现代电力电子领域,随着各类电气设备对高效、高功率密度和高可靠性要求的不断提升,功率半导体器件扮演着愈发关键的角色。功率SOI-LIGBT(Silicon-On-InsulatorLateralInsulatedGateBipolarTransistor,绝缘体上硅横向绝缘栅双极型晶体管)器件凭借其独特的结构和优异的性能,逐渐成为研究和应用的热点。它融合了SOI技术的全介质隔离优势,能有效减小寄生效应,同时具备横向绝缘栅双极型晶体管击穿电压高、导通电阻低且易于与标准CMOS
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