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旋转超声加工装置的创新设计与新型变幅杆的深度研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代工业的飞速发展，对材料加工精度和效率的要求日益提高。硬脆材料如陶瓷、石英、半导体等，因其具有高硬度、高脆性、耐高温、耐腐蚀等优良性能，在航空航天、电子信息、光学仪器、生物医学等领域得到了广泛应用。然而，这些材料的特殊性质使得传统加工方法面临诸多挑战，如加工效率低、刀具磨损严重、加工表面质量差等问题，极大地限制了它们的应用范围和发展。

超声加工作为一种非传统加工方法，利用超声频振动的工具在有磨料的液体介质中或干磨料中，产生冲击、抛磨、液压冲击等综合作用，实现对材料的加工。其具有加工精度高、表面质量好、无