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应变SOI材料：物理特性、工艺技术与应用前景的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着信息技术的飞速发展，半导体技术作为现代电子产业的核心，始终处于不断创新与演进的前沿。在追求更高性能、更低功耗以及更小尺寸的半导体器件进程中，应变SOI（SiliconOnInsulator，绝缘体上硅）材料脱颖而出，成为半导体领域备受瞩目的关键材料，对推动半导体技术的持续发展具有举足轻重的意义。

传统的体硅材料在应对不断提升的性能需求时，逐渐显露出其局限性。而应变SOI材料巧妙地结合了应变硅和SOI的各自优势，为突破这些限制带来了新的契机。在应变硅中，通过引入晶格应变，能够显著改变材料的