集成电路芯片厂高纯化学品供应系统设计应用研究.pdfVIP

中国科技期刊数据库工业A

中国科技期刊数据库工业A

集成电路芯片厂高纯化学品供应系统设计应用研究

申伏龙

上海精泰机电系统工程有限公司，上海200136

摘要：半导体制程中化学品被大量用于芯片制造工艺和清洗硅片过程。化学品种类一般可分为酸类、碱类、有

机溶剂类、研磨液四大类。芯片生产过程中如湿法蚀刻、清洗、光刻、化学机械研磨等皆使用到相各种化学

品，而化学品的供应稳定性则对制程产线稳定、产品良率有着决定性的影响。半导体制程中所需化学品基本都

具有毒性、腐蚀性、易燃易爆、高黏度等特点，所以供应系统设计、材料选型、系统供应的稳定性及系统安全

性是非常重要的。本文结合某集成电路制造厂的H2SO4系统的初始设计与优化设计，分析了因黏度结合输送距

离导致系统过大压损，通过实际计算，论述了管线输送距离对系统稳定供应的影响。结论表明，在系统高程不

变的情况下，调整系统输送逻辑，增加中继单元，可以确保系统的稳定供应。

关键词：高纯化学品；设计；化学品中央供应系统；中继单元；化工过程；智能控制与装备

中图分类号：TP277

1研究背景精度，从而影响工艺的稳定性和产品的质量。

（3）降低化学品输送系统管网的压损，可以显

随着半导体技术的飞速发展，集成电路和分立器

著提高流体的输送效率，减少能耗成本，提高化学品

件的制造过程变得日益复杂和精细。从半导体原材料

的流量和精度，从而确保工艺的稳定性和芯片的良

到转化为各种电子元件，这一转化过程涉及几百种复

率。通过调整设备的位置，优化管道布局、减少弯头

杂的工艺，其中许多步骤高度依赖于化学品的精确输

和压损件的使用、选用低摩擦系数的PFA管道材料等

送和处理。半导体制造工厂中，化学品系统的准确、

措施，可以有效降低压损。

高效且安全地输送成为确保芯片质量和生产效率的关

（4）半导体制造过程中使用的化学品往往具有

键环节，高纯化学品输送系统的研究意义与重要性有

危险性和腐蚀性，如果输送系统发生泄漏或压力波动

如下几点：

过大，可能会对生产环境和人员安全造成威胁。降低

（1）化学品输送系统的重要性：这些化学品不

压损可以减少系统憋压导致的泄漏事故的风险，提高

仅种类繁多，而且往往具有危险性和腐蚀性。为了确

系统的安全性和可靠性。

保这些化学品的品质和安全性，半导体制造工厂普遍

（5）针对半导体制造工厂化学品输送系统降低

采用CDS供应，能够确保24小时不间断地供应化学

压损的研究，不仅是对现有技术的改进和优化，更是

液，实现自动补液及配液，是生产工艺的核心支持系

对新技术和新方法的探索和尝试。通过深入研究压损

统。

产生的机理和影响因素，可以推动相关技术的创新和

（2）尽管CDS设备是化学品系统的核心，但在