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主讲教师:
CONTENTS
光图定向仪原理分析
晶向与光象的关系
硅单晶光点定向测试作业指
导书
PART01
光图定向仪
原理分析
一、光图定向仪原理分析
硅单晶面经过研磨、择优腐蚀等一系列恰当的处理后,表面出现许许多多的
小腐蚀坑。不同晶向生长的硅单晶,这些原子密排面有不同的宏观对称性。当一
束平行光入射到小坑上时,就会被这些小平面反射到不同的方向上去。
如果在反射光路上放置一个光屏,就能在光屏上现出晶体的光像。这种
光像具有与腐蚀坑相应的宏观对称性。根据晶体反射光像的对称性以及光图
中心的偏离角,可以确定晶体的生长方向和晶体的晶向偏离
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