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证券研究报告|半导体设备|2025年12月16日

科技电子团队•公司深度报告

华海清科(688120)CMP龙头新品加速放量，先进封装拓宽增长空间

分析师马天翼登记编号：S1220525040003王海维登记编号：S1220525040004

吴家欢登记编号：S1220525110003

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报告摘要

➢十五五规划半导体自主可控提速，先进制造全产业链或迎快速发展期，国产半导体设备与存储客户共同研发，加速国产化

率的提升，当前我们看国内存储的产能与全球龙头均存在显著的差距，需要充分的产能以确保稳定的供应体系。在先进制

造环节，国产半导体经过多轮共同研发、验证测试、小批量等，有望伴随终端客户的扩产而逐渐提升国产化率，国产半导

体有望再上一个台阶。

➢华海清科起源于清华大学摩擦学国家重点实验室，2013年正式成立，持续深化“装备+服务”平台化发展战略，现已建立起

涵盖化学机械抛光、离子注入、减薄、划切、边缘抛光及湿法等高端半导体装备产品矩阵，并通过不断拓展晶圆再生、耗

材维保等配套服务，构建了全方位、多维度的服务体系。

➢核心新品产业化进展顺利。新签CMP装备订单中先进制程的订单已实现较大占比，部分先进制程CMP装备在国内多家头部客

户实现全部工艺验证，全新抛光系统架构CMP机台Universal-H300已经获得批量重复订单。12英寸超精密晶圆减薄机

Versatile–GP300晶圆减薄的极限厚度及TTV均已达到国际先进水平，累计出机突破20台。华海清科已实现面向芯片制造的

大束流离子注入机各型号的全覆盖，12英寸大束流离子注入机批量交付国内多家集成电路制造头部企业。

➢盈利预测：公司深度绑定国内头部客户，核心产品产业化进展顺利，同时考虑到部分产品处于市场开拓阶段且持续加码研

发投入与生产能力建设，我们调整此前业绩预测（2025.7.3）。预计公司2025-2027年营收分别为45.36/60.15/75.02亿元

（前值为45.03/58.60/73.60亿元），归母净利润分别为12.01/16.01/20.13亿元（前值为12.90/16.90/21.21亿元）。维持

“强烈推荐”评级。

➢风险提示：宏观经济及行业波动风险，行业风险，新产品和新服务的市场开拓不及预期的风险，技术创新风险，核心技术

人员流失或不足的风险，客户相对集中的风险等。

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盈利预测

盈利预测（人民币）

单位/百万2024A2025E2026E2027E

营业总收入3406453660157502

(+/-)%35.8233.1632.6024.73

归母净利润102312011601