关于《半导体器件 机械和气候试验方法 第28部分：静电放电（ESD）敏感度测试 充电模型（CDM） 器件级》标准立项的发展报告.docxVIP

关于《半导体器件机械和气候试验方法第28部分：静电放电（ESD）敏感度测试充电模型（CDM）器件级》标准立项的发展报告

摘要

本报告旨在阐述《半导体器件机械和气候试验方法第28部分：静电放电（ESD）敏感度测试充电模型（CDM）器件级》国家标准立项的背景、目的、意义、范围及主要技术内容。随着半导体产业自动化水平的飞速提升，充电模型（CDM）已成为评估器件静电放电敏感度的关键模型，其重要性日益凸显。本标准的制定旨在建立一套与国际标准接轨的、统一且可重复的CDMESD测试、评价与分级程序，以规范我国半导体器件的质量与可靠性检验方法，提升产品国际竞争力，并为产业可靠性评估提供实质性技术支撑。

要点列表

*立项背景：为适应芯片生产制造高度自动化的趋势，解决早期人体模型（HBM）的局限性，亟需建立针对充电模型（CDM）的标准化测试方法。

*核心目标：实现CDMESD失效的准确复现与敏感度等级的可靠分级，为半导体器件的质量评价提供基础性试验方法。

*标准定位：作为GB/T4937系列标准的重要组成部分，等同采用国际标准IEC60749-28:2022，确保技术内容与国际水平同步。

*适用范围广泛：适用于所有封装形式的半导体器件、薄膜电路、声表面波器件、光电器件、混合集成电路及多芯片组件等。

*技术内容全面：标准正文涵盖范围、设备要求、测试程序、分级标准等，并通过多个规范性及资料性附录对关键技术细节进行详细说明和补充。

*产业意义重大：通过统一测试方法，规范产品质量，为器件可靠性评价提供关键依据，并促进我国半导体产业与国际市场接轨。

目的意义

本标准立项具有深远的技术与产业意义。首先，在技术层面，随着半导体制造与组装过程的自动化程度不断提高，由设备或夹具导致器件自身充电并随后放电的CDM失效模式变得尤为突出，其重要性已超越传统的人体模型（HBM）。本标准专门针对CDM模型，建立了一套完整的测试、评价与分级程序，能够科学地复现该失效模式，实现对器件ESD敏感度的准确量化评估，填补了国内在该领域标准化工作的关键空白。

其次，在产业与质量保障层面，本标准是GB/T4937《半导体器件机械和气候试验方法》系列标准的核心组成部分之一。该系列标准共同构成了评价半导体器件可靠性的基础试验方法体系。本部分的制定，有助于规范和统一国内半导体器件的质量与可靠性检验方法，为制造商、测试实验室及用户提供一致的技术依据。通过确定必要的限制措施和评价基准，本标准能为半导体器件是否满足预定用途与可靠性要求提供实质性参考，是考核与提升产品质量不可或缺的技术基础。

最后，在国际化与竞争力层面，本标准等同采用最新的国际标准IEC60749-28:2022，确保了我国在CDMESD测试技术领域与国际保持同步。这不仅有利于消除技术贸易壁垒，促进国内半导体产品的出口与国际合作，更能推动国内产业技术水平向国际先进水平看齐，整体提升我国半导体产业的国际竞争力与质量信誉。

关于标准化技术委员会的介绍

标准化技术委员会是在特定专业领域内，从事国家标准、行业标准制修订与技术归口工作的权威技术组织。通常由国家标准化管理委员会或相关行业主管部门批准成立。委员会由该领域的生产企业、科研机构、检测认证机构、高等院校、用户单位及政府部门的专家代表组成，具有广泛的代表性和专业性。

其主要职责包括：提出本专业领域标准化工作的方针、政策和技术措施的建议；负责组织制定、修订和复审本领域的国家标准和行业标准；负责本领域标准的宣贯、解释及实施情况的调研与咨询；承担国际对口标准化组织的国内技术归口工作，参与国际标准制定、复审与投票，推动国内外标准协调一致等。标准化技术委员会的工作是确保标准科学性、先进性、适用性和广泛共识性的关键机制，是连接技术创新、产业实践与标准化成果的核心枢纽。本标准的研制工作正是在相关的半导体器件标准化技术委员会的组织与指导下进行的，确保了标准制定过程的规范、公正与专业。

范围和主要技术内容

范围：本标准适用于评价所有封装形式的半导体器件，以及薄膜电路、声表面波（SAW）器件、光电器件、混合集成电路（HICs）和包含这些器件的多芯片组件（MCMs）。其核心应用场景是芯片生产、制造、组装等工厂环境，旨在为多种类型的器件提供不依赖于特定试验设备的、可靠且可重复的CDMESD测试结果，从而实现准确的敏感度分级和横向对比。

主要技术内容：标准文本结构清晰，内容详实。主体部分共7章，依次规定了：标准的适用范围、所需引用的规范性文件、关键术语的定义、测试所需设备的具体要求、测试设备的周期性确认及波形验证流程、详细的CDMESD测试要求与操作程序，以及最终的敏感度分级标准。

此外，标准包含多个附录，对正文内容进行了深入扩展和细化。其中，