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氟化钙晶体生长技术：方法、挑战与前沿进展

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技发展的浪潮中，氟化钙（CaF?）晶体作为一种重要的无机材料，凭借其独特的物理化学性质，在众多关键领域发挥着不可或缺的作用。从光学领域的精密仪器到半导体行业的核心器件，氟化钙晶体的身影无处不在，其应用的广度和深度不断拓展，推动着相关产业的技术革新与发展。

在光学领域，氟化钙晶体具有极为出色的光学性能。其透光范围异常宽广，从真空紫外波段（125nm）到中红外波段（10000nm）都能保持良好的透光性，这一特性使其成为制造高性能光学元件的理想材料。例如，在深紫外光刻技术中，随着芯片制造工艺对精度要求的不断提高，光