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半导体材料仿真：石墨烯材料仿真_（12）.石墨烯的制备与表征技术仿真.docx

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    CVD法制备石墨烯的基本原理可以概括为以下几个步骤：1.基底准备：选择合适的基底材料，如铜箔或镍箔，进行表面处理以提高沉积效率。2.气体引入：将气体前驱体（如甲烷、乙炔等）引入反应室。3.高温分解：在高温条件下，气体前

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