半导体器件可靠性分析：电迁移分析_（11）.电迁移在可靠性设计中的应用.docx

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2025-12-20 发布于辽宁
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电迁移在可靠性设计中的应用

在半导体器件的可靠性设计中，电迁移（Electromigration，EM）是一个重要的考虑因素。电迁移是指在高电流密度下，导电材料中的原子在电场作用下发生迁移的现象。这种现象会导致金属互连层中的空洞形成，进而影响器件的性能和寿命。因此，理解电迁移的原理及其在可靠性设计中的应用对于提高半导体器件的长期稳定性至关重要。

电迁移的基本原理

1.电迁移的定义

电迁移是指在半导体器件中，由于电流的通过，金属互连层内的原子在电场的作用下发生迁移。这种迁移会导致金属线内的微观结构变化，如空洞形成和金属线的断裂，从而影响器件的性能和可靠性