JJF(吉) 25-2009 表面轮廓测量仪校准规范.docxVIP

吉林省地方计量技术规范

JJF(吉)25—2009

受

JFb)53

表面轮廓测量仪校准规范

CalibrationSpecificationforSurfaceProfile

MeasuringInstrument

2009-03-20发布2009-04-20实施

吉林省质量技术监督局发布

JJF(吉)25—2009

表面轮廓测量仪校准规范

CalibrationSpecificationforSurfaceProfileMeasuringInstrument

本规范经吉林省质量监督局于2009年3月20日批准，并自2009年4月20日起施行。

归口单位：吉林省质量技术监督局

起草单位：中国第一汽车集团公司检测服务中心

本规范委托吉林省质量技术监督局负责解释

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本规范主要起草人：

于大葵(中国第一汽车集团公司检测服务中心)金振麟(中国第一汽车集团公司检测服务中心)

赵金芝(中国第一汽车集团公司检测服务中心)参加起草人：

尹景军(中国第一汽车集团公司检测服务中心)田予钢(中国第一汽车集团公司检测服务中心)

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目录

1范围 (1)

2引用文献 (1)

3概述 (1)

4计量特性 (1)

5校准条件 (2)

6校准方法 (2)

7校准结果表达 (4)

8复校时间间隔 (4)

附录A表面轮廓测量仪校准证书内页格式 (5)

附录B表面轮廓测量仪综合示值误差测量结果的不确定度评定实例 (6)

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1

表面轮廓测量仪地方校准规范

1范围

本规范适用于触针式表面轮廓测量仪的校准。

2引用文献

本规范引用下列文献：

GB/T19600产品几何量技术规范(GPS)表面结构轮廓法接触(触针)式仪器的校准

JJF1001—1998通用计量术语及定义

JJF1059—1999

测量不确定度评定与表示

JJF1094—2002

测量仪器特性评定

JJF1105—2003

触针式表面粗糙度测量仪校准规范

使用本规范时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本。

3概述

表面轮廓测量仪主要用于测量外型结构复杂、尺寸相对较小，其它常规仪器无法测量表面轮廓的工件。触针式表面轮廓测量仪一般由传感器、驱动器、电子信号处理装

置、计算机、打印机等组成。其工作原理是，仪器的驱动器带动传感器沿被测表面匀速滑行，传感器通过触针感受到被测表面的几何形状变化，并转换成电信号。该信号经放大和处理，再通过计算机系统计算和处理，根据用户需要生成被测表面轮廓形状的不同参数。测量结果可通过显示器或打印机输出。

4计量特性

4.1传感器触针针尖半径及角度误差

4.2驱动箱导轨的直线度

4.3轮廓坐标测量系统误差

4.4触针垂直位移的示值误差

4.5触针水平位移的示值误差

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2

4.6圆弧半径的示值误差

4.7角度的示值误差

4.8表面粗糙度的示值误差

注：作为校准，不判定合格与否，上述计量特性的指标仅供参考。

5校准条件

5.1环境条件

5.1.1校准表面轮廓测量仪的室内温度应在(20±3)℃范围内，室温变化不超过1℃/h。室内湿度不超过75%RH。

5.1.2被校仪器及校准用测量设备在室内平衡温度的时间不少于2h。

5.1.3校准前，被校仪器连续通电预热时间不少于30min。

5.1.4室内应无影响测量的灰尘、振动、噪音、气流、腐蚀性气体和较强磁场。

5.2校准项目及校准用测量设备

校准项目及校准用测量设备见表1。

表1校准项目和校准用测量设备

序号

校准项目

校准用测量设备

名称

技术要求

工

传感器触针针尖半径及角度误差

投影仪

MPE:±(4+L/50)μm

2

驱动箱导轨的直线度

平面平晶

2级

3

轮廓坐标测量系统误差

校准球

一

4

触针垂直位移的示值误差

量块

3等

5

触针水平位移的示值误差

光学刻度尺

二等

6

圆弧半径的示值误差

标准球

U=0.5μmk=2

7

角度的示值误差

标准角度块

U=1.4k=2

8

表面粗糙度的示值误差

多刻线样板

U??=(5～2)%

6校准方法

首先检查仪器外观及各项功能，并进行必要的准备