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半导体器件可靠性分析：故障模式分析_（14）.可靠性标准与规范.docx

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    可靠性标准与规范

    1.引言

    在半导体器件的可靠性分析中，故障模式分析（FailureModeAnalysis,FMA）是至关重要的一步。为了确保半导体器件的可靠性和性能，必须遵循一系列的标准和规范。这些标准和规范不仅为故障模式分析提供了框架，还为测试、评估和改进半导体器件提供了指导。本节将详细介绍可靠性标准与规范，包括国际标准、行业标准和企业内部规范，以及如何在故障模式分析中应用这些标准。

    2.国际标准

    2.1IEC60068-2-66

    IEC60068-2-66是国际电工委员会（InternationalElectrotechnic

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