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半导体器件仿真基础
1.仿真软件介绍
在半导体器件仿真中,选择合适的仿真软件是至关重要的。常用的半导体器件仿真软件包括SilvacoTCAD、SynopsysSentaurus、SilvacoAtlas、SentaurusDevice等。这些软件提供了丰富的物理模型和算法,能够模拟器件的电学、光学、热学等特性。本节将介绍这些软件的基本功能和使用方法。
1.1SilvacoTCAD
SilvacoTCAD是一款功能强大的半导体器件仿真软件,广泛应用于科研和工业界。它支持多种物理模型,包括载流子输运、能带结构、缺陷和陷阱模型等。Silv
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