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物理建模与参数提取
在半导体器件仿真中,物理建模与参数提取是两个至关重要的步骤。物理建模是建立器件行为的数学描述,而参数提取则是从实验数据或已知物理特性中确定模型中的参数。本节将详细介绍这两个步骤的原理和内容,并通过具体的例子进行说明。
1.物理建模
物理建模是指将半导体器件的物理行为转化为数学模型的过程。这些模型通常基于半导体物理的基本方程,如泊松方程、连续性方程和电流方程等。通过这些方程,可以描述器件在不同工作条件下的电场、载流子浓度和电流等物理量的变化。
1.1泊松方程
泊松方程描述了电场与电荷分布之间的关系。在半导体器件中,电场是由于载流子(
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