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故障模式分析概述
故障模式分析(FailureModeAnalysis,FMA)是半导体器件可靠性分析中的一个重要环节。通过识别和分析半导体器件在不同条件下的故障模式,可以更好地理解器件的失效机理,并采取相应的措施来提高器件的可靠性和寿命。故障模式分析通常包括以下几个步骤:
故障模式识别:通过实验和测试数据识别半导体器件可能出现的故障模式。
故障机制分析:深入研究每种故障模式的物理和化学机制。
故障影响分析:评估故障模式对器件性能和寿命的影响。
故障预防措施:提出并实施有效的预防措施,减少或消除故障模式。
常见故障模式
1.电迁移(Electro
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