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嵌入式光栅数显测量系统：原理、技术与应用创新研究

一、引言

1.1研究背景

在现代工业和科学研究领域，精确测量技术无疑是推动技术进步与产品创新的关键力量。从机械制造中对零部件尺寸的高精度把控，到航空航天领域对飞行器关键部件的精密检测，再到电子芯片制造过程中对微小结构尺寸的精确测量，测量技术的精度和可靠性直接关系到产品质量、性能以及整个系统的稳定性与安全性。例如，在航空发动机的制造中，叶片的尺寸精度和表面粗糙度直接影响发动机的效率和可靠性；在半导体芯片制造中，线宽的精确控制决定了芯片的性能和集成度。可以说，精确测量技术是现代工业和科学研究的基石，是实现高质量发展的重要保障。

光栅数显测量系统作