磁控溅射涂镀重稀土晶界扩散渗入钕铁硼磁体的能效分析.pdfVIP

第54卷第16期表面技术

2025年8月SURFACETECHNOLOGY·221·

磁控溅射涂镀重稀土晶界扩散渗入

钕铁硼磁体的能效分析

1*11233

田广科，张希，崔光宇，王瑜，许亿，夏原

（1.兰州交通大学国家绿色镀膜技术与装备工程技术研究中心，兰州730070；

2.包头金山磁材有限公司，内蒙古包头014000；3.中国科学院力学研究所，北京100083）

摘要：目的采用Dy、Tb等重稀土元素晶界扩散是制备高性能钕铁硼磁材的重要技术手段，但现阶段工

业化晶界扩散生产过程的工艺模式仍然较为粗放，对重稀土等国家战略性资源的极致利用还远不够精细。

方法采用直流磁控溅射镀膜技术在牌号42SH钕铁硼磁体表面沉积约10μm厚Tb涂层，然后在高真空扩

散炉中对镀Tb磁体进行晶界扩散处理，研究了一步扩散法和梯度扩散法工艺模式变化对Tb渗入效率和提

高磁体内禀矫顽力实际效能的影响，尝试性地建立了重稀土渗入效率、单位重稀土渗入量产生的实际效能、

单位重稀土沉积量产生的实际效能的计算方法，结合电子探针分析了不同扩散模式下重稀土渗入磁体的分

布特征。结果一步扩散法的重稀土渗入效率由86%提高到91%和95%，而梯度扩散法达到96%。梯度扩散

法的单位浓度Tb渗入量的内禀矫顽力提升量可达到21.42kOe/wt.%Tb，单位浓度Tb沉积量的内禀矫顽力

提升量可达到20.5kOe/wt.%Tb，换算成单位内禀矫顽力提升量需要的Tb沉积量则为0.049wt.%Tb/kOe，该

指标可为不同内禀矫顽力提升量的生产需求预测出合理的重稀土沉积量。结论在梯度扩散模式下，有更多

的Tb原子沿晶界相渗入至磁体更深位置，在更多的Nd2Fe14B主相晶粒表面形成具有更高磁晶各向异性场核

壳结构(Nd,Tb)2Fe14B硬磁层，所以梯度扩散模式下矫顽力提升量最大。

关键词：钕铁硼永磁体；重稀土晶界扩散；磁性能；微观组织与结构；成分；定量评估

中图分类号：TM273文献标志码：A文章编号：1001-3660(2025)16-0221-10

DOI：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2025.16.019

EfficacyofMagnetronSputteredHeavyRareEarthGrain

BoundaryDiffusionintoNd-Fe-BPermanentMagnets

1*11233

TIANGuangke,ZHANGXi,CUIGuangyu,WANGYu,XUYi,XIAYuan

(1.NationalEngineeringResearchCenterforTechnologyandEquipmentofEnvironmentalDeposition,LanzhouJiaotong

University,Lanzhou730070,China;2.BaotouJinshanMagneticMaterialCo.,Ltd.,InnerMongoliaBaotou014000,China;

3.InstituteofMechanics,Chi