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晶圆级机械致单轴应变Si技术：原理、制备与应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

微电子技术作为现代信息技术的核心，在过去几十年间取得了飞速发展，广泛应用于通信、计算机、医疗、汽车等众多领域，推动着各行业的变革与进步。随着科技的不断进步，人们对电子设备的性能要求日益提高，如更高的运算速度、更低的功耗、更小的尺寸和更高的集成度等，这对微电子技术的发展提出了严峻挑战。

在微电子技术中，半导体材料是其发展的基础。硅（Si）作为最常用的半导体材料，凭借其丰富的储量、成熟的制备工艺和良好的物理化学性质，在半导体产业中占据着主导地位。然而，随着集成电路特征尺寸不断缩小，接近物理极限，传统硅材料的