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探索低粘度液体与纳米流体的微观流动奥秘:特性、差异及影响因素
一、引言
1.1研究背景与意义
随着科技的迅猛发展,微机电系统(MEMS)、微流体芯片、纳米技术等领域取得了显著的进步,微流动技术作为这些领域的关键支撑技术,逐渐成为研究热点。自20世纪中叶半导体管发明以来,半导体集成电路技术不断发展,为MEMS技术奠定了基础。1959年,美国物理学家RichardFeynman提出微型机械的设想,此后MEMS技术逐渐兴起。随着制造工艺的成熟,MEMS技术在航空航天、生物医学、电子信息等众多领域得到了广泛应用。在微机电系统中,包含了大量的微流动器件,如微型换热器、微型泵、微型
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