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GBT 28275-2012硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范专题研究报告.pptx

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    ;目录;;MEMS产业的黄金增长期：标准先行的战略意义;（二）标准的核心价值：从“能做”到“做好”的跨越;（三）面向国际竞争：标准如何助力国产MEMS“走出去”;;硅的晶体特性：KOH腐蚀的“天然密码”;（二）KOH腐蚀的技术优势：为何能击败其他腐蚀方案？;;;KOH试剂的“纯度门槛”：标准中的关键指标解读;（二）硅片的“选型指南”：晶向、掺杂与厚度的精准匹配;;;KOH浓度的“甜蜜点”：20%-40%的科学依据;;;;;;（三）设备智能化升级：标准兼容的未来方向;;几何尺寸

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