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第二章薄膜制备的物理方法;;2.1.1真空蒸发镀膜的定义、原理和基本过程

1定义

真空蒸发镀膜法（简称真空蒸镀）

在真空室中，加热蒸发容器中待形成薄膜的原材料，使其原子或分子从表面气化逸出，形成蒸气流，入射到固体（称为衬底或基片）表面，凝结形成固态薄膜的方法。

由于真空蒸发法或真空蒸镀法主要物理过程是通过加热蒸发材料而产生，所以又称为热蒸发法。;;3.真空蒸发镀膜的三种基本过程：

(1)热蒸发过程

是由凝聚相转变为气相（固相或液相→气相）的相变过程。每种蒸发物质在不同温度时有不相同的饱和蒸气压；蒸发化合物时，其组分之间发生反应，其中有些组分以气态