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金属电容式传感器的静压影响误差王徐坚

金属电容式传感器的静压影响误差

StaticPressureErrorofMetalCapacitiveSensor

互徐坚

(上海威尔泰工业自动化股份有限公司，上海201103)

摘要：由于市场对差压变送器测量准确度的要求不断提高，导致差压变送器的静压影响误差越来越突出。从金属电容式的结构特

点分析出发，并结合一定的试验，得出结论是金属电容式差压传感器由于其本身的结构特点决定，其静压影响误差不可消除或明显减

小，只有通过静压补偿或采用硅差压传感器原理，才可实现较小的静压影响误差。

关键词：静压影响误差金属电容式传感器硅传感器静压补偿

中图分类号：TP202+．2文献标志码：A

Abstract：ThestaticpressureelTOtbecomesmoreoutstandingbecausehigherandhighermeasurementaccuracyisrequestedforD／Ptransmit—

tersinthemarket．Basedonhteanalysisonstructuralfeaturesofmetalcapacitivesensor，andcertaintests。itisconcludedthatbecauseofthe

structuralcharacteristicsthestaticpressureenorofmetalcapacitiveD／Psensor-itsstaticpressureerrorcannotbeeliminatedorobviouslyre—

duced。theonlywaytogetlessstaticpressureinfluenceisusingstaticpressurecompensationorsiliconD／Pprinciple．

Keywords：StaticpressureerrorMetalcapacitivesensorSiliconsensorStaticpressurecompensation

流经节流件时，流束截面突然收缩，流速加快。经节流

0引言

件后，后端流体的静压力降低，于是在节流件前后产生

差压变送器的线性校准通常是在负压室通大气的了静压压差。该静压压差与流体的流量之间有确定的

条件下进行的，也就是说静压为1个大气压。但是一数值关系，符合以下关系式：

旦安装到现场实际使用时，往往会在正负压室加上一Q=(2)

定的工作压力，此时会发现零位产生了偏移，满位输出用差压变送器测量节流件前后的差压，实现对流

也出现一定的偏移(满位偏移一般要通过与标准仪器量的测量，如图l所示。

比对读出)。这种当加上工作静压，导致变送器的零

位和满位输出与大气校验时的零位和满位发生偏移的

误差称为静压影响误差。

1静压影响对变送器影响管道

差压变送器的静压误差直接影响到其综合精度。

差压变送器的综合精度A(％)一般有精度A(％)、环

境温度变化影响T(％／10℃)、静压变化影响．s(％／图1差压变送器现场连接图

10MPa)3个因素。其计算公式为：Fig．1Connectionofdifferentialpressuretransmitter

A=~／A++S：(1)当应用在电厂测高压蒸汽流量时，如果对静压影

由此可见，静压误差对差压变送器的综合精度来响不作校正或补偿，将会给流量测量带来较大误差，尤

说是一个非常重要的因素。比如，当差压变送器应用