CN119843257A-一种高稳定性化学镀铜液及其制备方法-公开.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119843257A

(43)申请公布日2025.04.18

(21)申请号202510118060.1

(22)申请日2025.01.24

(71)申请人深圳市大正瑞地科技有限公司

地址518000广东省深圳市宝安区沙井街

道帝堂路沙二蓝天科技园第十二栋第

三层

(72)发明人林小华林星耀

(74)专利代理机构深圳维启专利代理有限公司

44827

专利代理师邓俊勇

(51)Int.Cl.

C23C18/40(2006.01)

H05K3/42(2006.01)

权利要求书1页说明书7页

(54)发明名称

一种高稳定性化学镀铜液及其制备方法

(57)摘要

本申请涉及化学镀铜技术领域，尤其涉及一

种高稳定性化学镀铜液及其制备方法。一种高稳

定性化学镀铜液，按质量浓度计，包括以下制备

原料：五水硫酸铜12‑20g/L、还原剂24‑30g/L、络

合剂40‑45g/L、缓冲剂20‑25g/L、稳定剂0.45‑

0.55g/L、加速剂2‑3g/L、表面活性剂0.010‑

0.013g/L，其中，所述还原剂由次亚磷酸钠和吡

咯烷四氟硼酸盐以质量比3:4组成。本申请的高

稳定性化学镀铜液确保在高沉积速率的同时，具

有优异的稳定性，在获得良好沉铜层品质的同

时，减少维护的频率，提高化学铜液使用寿命,延

长镀液分解时间,促进生产效率。

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CN119843257A权利要求书1/1页

1.一种高稳定性化学镀铜液，其特征在于，按质量浓度计，包括以下制备原料：五水硫

酸铜12‑20g/L、还原剂24‑30g/L、络合剂40‑45g/L、缓冲剂20‑25g/L、稳定剂0.45‑0.55g/L、

加速剂2‑3g/L、表面活性剂0.010‑0.013g/L，其中，所述还原剂由次亚磷酸钠和吡咯烷四氟

硼酸盐以质量比3:4组成。

2.根据权利要求1所述一种高稳定性化学镀铜液，其特征在于，所述吡咯烷四氟硼酸盐

的制备方法为，按照摩尔份数，将10份1,4‑二氯丁烷、12份二乙胺、10份碳酸钠、10份四氟硼

酸加入80‑85份乙腈中，加热至80‑90℃后反应28‑32小时，冷却至室温后得到反应液，将反

应液抽滤得到滤液，将滤液减压浓缩后加入70份无水乙醇重结晶，过滤后得到滤饼，将滤饼

真空干燥至恒重，得到吡咯烷四氟硼酸盐。

3.根据权利要求1所述一种高稳定性化学镀铜液，其特征在于，所述稳定剂由2‑氨基‑

5‑巯基‑1,3,4‑噻二唑、S‑腺苷‑L‑高半胱氨酸(I)和S‑羧甲基‑L‑半胱氨酸(II)以质量比4‑

7:5:2‑4组成。

4.根据权利要求3所述一种高稳定性化学镀铜液，其特征在于，所述稳定剂由2‑氨基‑

5‑巯基‑1,3,4‑噻二唑、S‑腺苷‑L‑高半胱氨酸(I)和S‑羧甲基‑L‑半胱氨酸(II)以质量比6:

5:3组成。

5.根据权利要求1所述一种高稳定性化学镀铜液，其特征在于，所述络合剂由乙二胺四

乙酸和四羟丙基乙二胺以质量比3:2组成。

6.根据权利要求5所述一种高稳定性化学镀铜液，其特征在于，所述加速剂由2‑巯基苯

并噻唑和L‑苹果酸以质量比2:1组成。

7.根据权利要求1所述一种高稳定性化学镀铜液，其特征在于，所述表面活性剂为脂肪

酸聚氧乙烯酯。

8.根据权利要求1所述一种高稳定性化学镀铜液，其特征在于，所述缓冲剂为碳酸钠。

9.一种权利要求1‑8任一所述一种高稳定性化学镀铜液的制备方法，其特征在于，包

括：将五水硫酸铜12