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Ba掺杂对Hf0.5Zr0.5O2铁电薄膜电学性能的影响.docx

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    题目：Ba掺杂对Hf0.5Zr0.5O2铁电薄膜电学性能的影响

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    TOC\o1-1\h\z\t标题2,2,标题3,3,副标题,1摘要 Ⅰ

    1引言 1

    1.1 1

    1.2 3

    1.2.1 4

    1.2.2 6

    1.3 8

    2实验与计算方法. 10

    2.1 13

    2.2 15

    2.3 17

    2.4 19

    2.5 21

    3结果及讨论. 26

    3.1 27

    3.2 35

    3.3 39

    4结论 42

    参考文献 44

    致谢 45

    PAGE12

    Ba掺杂对Hf0.5Zr0

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