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基于膜片形变的非本征法布里-珀罗干涉光纤低压传感器的关键技术与性能优化研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业生产与科学研究中，压力作为一项关键物理参数，其精确测量至关重要。低压环境下的压力测量在众多领域有着不可或缺的应用，如生物医学领域，对生物体内的血压、颅内压等低压参数的准确监测，有助于疾病的诊断与治疗；在气象监测中，精准获取大气低压数据对于天气预报的准确性起着关键作用；在航空航天领域，飞行器内部的低压环境监测以及飞行过程中的气压变化测量，关乎飞行安全与任务执行。

传统的电类低压传感器，虽在一定程度上满足了部分测量需求，但存在诸多固有缺陷。其易受电磁干扰影响，在电磁环境复杂的场景下，测量精度大幅下降，数据可靠性难以保证；同时，电类传感器存在安全隐患，在易燃易爆等特殊环境中，可能因电火花等问题引发危险。此外，其体积和重量相对较大，在一些对设备尺寸和重量有严格要求的应用场景中，使用受限。

非本征法布里-珀罗干涉光纤低压传感器，作为光纤传感技术领域的重要研究方向，展现出独特优势。光纤本身具有电绝缘性好、抗电磁干扰能力强的特点，这使得该传感器能够在强电磁干扰环境下稳定工作，确保测量数据的准确性。其体积小、重量轻的特性，满足了如生物医学、航空航天等对设备微型化和轻量化的严苛要求。同时，本质安全的属性使其在易燃易爆环境中得以安全应用，避免了潜在的安全风险。

基于膜片形变的研究视角，深入探究该传感器具有重要价值。膜片作为传感器的关键敏感元件，其形变特性直接决定了传感器的性能。通过对膜片材料、结构等方面的优化设计，能够有效提升传感器的灵敏度、分辨率和稳定性等性能指标。不同的膜片材料具有各异的物理特性，选择合适的材料可使传感器在特定低压测量场景中发挥最佳性能。合理设计膜片结构，如改变膜片的形状、厚度分布等，能够优化膜片的受力与形变响应，从而提升传感器整体性能。对膜片形变的研究，为传感器的优化设计与性能提升提供了关键理论支撑与实践指导，推动非本征法布里-珀罗干涉光纤低压传感器在更多领域的广泛应用。

1.2国内外研究现状

在国外，相关研究起步较早且成果丰硕。[具体文献1]中，研究人员采用新型聚合物材料作为膜片，利用其独特的弹性形变特性，提高了传感器对微小压力变化的响应灵敏度，在生物医学微小压力监测应用中取得了较好效果。[具体文献2]提出一种基于微机电系统（MEMS）技术的膜片结构设计，通过精确控制膜片的微观结构，实现了传感器在低压测量时的高精度和高稳定性，在航空航天微小气压监测领域得到应用验证。在应用方面，[具体文献3]将非本征法布里-珀罗干涉光纤低压传感器用于工业管道的低压泄漏检测，通过对管道内压力变化的实时监测，成功实现了对微小泄漏点的定位与检测。

国内学者在该领域也开展了深入研究并取得显著进展。[具体文献4]研究了不同膜片材料（如石墨烯、纳米复合材料等）对传感器性能的影响，发现石墨烯膜片具有优异的力学性能和电学性能，能够有效提高传感器的灵敏度和响应速度，在生物体内压力监测等领域具有潜在应用价值。[具体文献5]通过优化膜片的几何结构，采用特殊的曲面膜片设计，增强了膜片的受力均匀性，从而提升了传感器的线性度和稳定性，在气象监测等领域进行了应用探索。在实际应用中，[具体文献6]将该传感器应用于水库大坝的渗压监测，实现了对大坝渗流压力的长期、实时监测，为大坝的安全评估提供了重要数据支持。

然而，当前研究仍存在一些不足与空白。在膜片材料方面，虽然已有多种材料被研究应用，但仍缺乏在复杂环境下兼具高稳定性、高灵敏度和良好生物相容性的理想材料。在结构设计上，现有的结构在提高传感器性能的同时，往往会增加制备工艺的复杂性和成本，如何设计出既高性能又易于制备的膜片结构，是亟待解决的问题。在多参数交叉敏感问题上，如温度与压力的交叉敏感，目前的研究虽提出了一些补偿方法，但仍未能完全消除其对测量精度的影响。此外，在传感器的大规模产业化应用方面，还面临着制备工艺标准化、成本控制以及与现有系统兼容性等问题。

1.3研究目标与内容

本研究旨在通过对基于膜片形变的非本征法布里-珀罗干涉光纤低压传感器的深入研究，优化其性能，拓展其应用领域，使其能够更好地满足不同场景下的低压测量需求。

围绕上述目标，具体研究内容如下：

膜片材料研究：系统地研究多种膜片材料的物理特性，包括力学性能（如杨氏模量、泊松比等）、光学性能（折射率等）以及化学稳定性等。对比分析不同材料在低压环境下的形变特性与传感性能，通过理论计算与实验测试相结合的方式，筛选出适用于低压传感器的高性能膜片材料。探索新型膜片材料的合成与改性方法，如通过纳米技术对材料进行改性，提高其综合性能，为传感器性能提升提供材料基础。

膜片结构设计与优化：基于膜片的受力分析与形变理