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- 2025-12-29 发布于山西
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半导体⾏业的废⽓处理⽅法
半导体⾏业在⽣产的过程中，会产⽣⼤量的有机物以及有毒有害物质，特是VOCs⽓体，如直接排放VOCs⽓体，对
⼤⽓层将会造成较为严重的危害，所以今天⼩编将与⼤家分享⼀份关于：半导体⼯业的废⽓处理。
⽬前在市场上，⼯业废⽓处理主要采⽤的是焚烧或者是吸附的⽅法，还有⼀种少见的热氧化法，但是由于废⽓中的有机
物会被氧化掉，所以只有在⼤流量、低浓度的⽓体的情况下使⽤该⽅法。
吸附法：
活性炭吸附法是利⽤活性炭表⾯上的多孔，去吸附有机废⽓中的有害物质或者是可回
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