特气输送与尾气处理系统用户要求.pdfVIP

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  • 2026-01-04 发布于山西
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特气输送与尾气处理系统用户要求

1.特气柜(防爆柜)配置

气体种类与性质

气体编号123456789

气体种类PH3NH3SiH4TMBCH4H2CO2N2液氮

有毒性√

可燃性极易燃可燃极易燃极易燃易燃易燃不燃不燃

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