基于相移干涉的MEMS变形镜平面度测试系统：误差剖析与校正策略.docxVIP

基于相移干涉的MEMS变形镜平面度测试系统：误差剖析与校正策略

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代光学技术的飞速发展，MEMS变形镜作为自适应光学系统中的关键器件，在众多领域展现出了重要的应用价值。在天文观测中，大气湍流会使星光波前发生畸变，严重影响天文望远镜的观测分辨率。MEMS变形镜能够实时校正波前畸变，使望远镜捕捉到更清晰、更遥远天体的图像，帮助天文学家探索宇宙的奥秘。在激光通信领域，大气的不稳定导致激光光束传播时发生畸变，影响通信的质量和可靠性。MEMS变形镜通过对激光波前的精确控制，保证激光通信的稳定性和高效性，为实现高速、长距离的空间激光通信提供可能。此外，在生物医学成像中，如共聚焦显微镜、光学相干断层扫描（OCT）等技术，MEMS变形镜能够对生物样本成像过程中的波前误差进行校正，提高成像分辨率，有助于医生更准确地观察生物组织的微观结构，早期发现病变，为疾病的诊断和治疗提供有力支持。

MEMS变形镜的平面度是影响其性能的关键因素之一。平面度不佳会导致反射波前的畸变，降低其对波前误差的校正能力。在自适应光学系统中，MEMS变形镜需要精确地拟合目标波前，若平面度存在较大偏差，就无法准确地实现波前校正，使得系统的自适应性能大打折扣。因此，对MEMS变形镜平面度进行高精度测试至关重要。

基于相移干涉的平面度测试技术具有高精度、非接触、全场测量等优点，成为MEMS变形镜平面度测试的常用方法。然而，在实际测量过程中，测试系统不可避免地会引入各种误差，如光学系统的像差、相移器的移相误差、CCD探测器的噪声等，这些误差严重影响了测量精度，导致测量结果不能真实反映MEMS变形镜的平面度。例如，光学系统的像差会使干涉条纹发生变形，从而在相位解算过程中引入误差，最终影响平面度的测量结果。因此，深入分析基于相移干涉的MEMS变形镜平面度测试系统的误差来源，并采取有效的校正方法，对于提高MEMS变形镜平面度测试精度，进而提升其在各应用领域的性能具有重要意义。通过精确的误差分析与校正，可以确保MEMS变形镜在实际应用中能够准确地实现波前校正功能，推动自适应光学技术在天文观测、激光通信、生物医学成像等领域的进一步发展和应用。

1.2国内外研究现状

国外在基于相移干涉的平面度测试技术以及针对MEMS变形镜的相关研究起步较早，并取得了一系列重要成果。在相位解调算法方面，Carre算法通过对多幅干涉图的巧妙处理，有效地抑制了移相器误差对相位解调的影响，在高精度测量场景中得到了广泛应用。最小二乘法拟合算法则通过对干涉条纹数据的拟合，能够准确地提取相位信息，具有较高的精度和稳定性，被广泛应用于各种精密测量任务中。在空间移相方法研究上，偏振干涉移相方法利用偏振光的特性实现相移，具有结构紧凑、相移精度高的优点，被广泛应用于各种空间相移干涉测量系统中。基于衍射光栅的空间分光移相方法则通过光栅的衍射效应实现光束的分光和相移，为空间相移干涉测量提供了一种新的思路和方法，推动了该技术的发展。在MEMS变形镜的研究方面，国外已经研制出多种高性能的MEMS变形镜，并在自适应光学系统中得到了实际应用。例如，一些MEMS变形镜具有高分辨率、大行程、低交连等优点，能够满足不同应用场景的需求。

国内的研究学者在这些年来也对于移相干涉测量技术与同步移相干涉测量技术有了一定的研究成果，其中钱克矛等人利用相位龙基光栅来获得四幅恒定相位差的干涉图。刘世炳、贺雪鹏利用分光镜设计了一套同步干涉测量系统。曾爱军等人发明了一种结构简单、控制精确的新型空间移相器。在针对MEMS变形镜平面度测试系统误差分析与校正的研究中，国内也有不少学者进行了相关探索。例如，有研究通过对系统误差的分析，发现由扩束器产生的波像差是测量误差的主要来源，并采用Zemike多项式拟合波前像差，然后在平面度测量时扣除该数值拟合结果，有效地减小了系统测量误差。然而，现有研究在误差分析的全面性和校正方法的有效性方面仍存在一定的不足。部分研究仅考虑了部分主要误差源，而忽略了一些次要但可能对测量结果产生累积影响的因素。一些校正方法在实际应用中可能存在计算复杂、实时性差等问题，限制了其在实际生产和测试中的应用。

1.3研究内容与方法

本文主要针对基于相移干涉的MEMS变形镜平面度测试系统的误差分析与校正展开研究。首先，深入分析测试系统的误差来源，包括光学系统误差，如连续变倍扩束镜导致的误差、分光路干涉条件下的干涉误差；相移器的移相误差；测量系统的其他元件误差，如光源的影响、CCD探测器误差的影响、空气扰动及环境振动、其他光学器件的误差以及样品倾斜对测量结果的影响等。

在误差校正方面，利用Zernike多项式对