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制造工艺仿真：掺杂仿真_（12）.掺杂仿真结果验证.docx

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    掺杂仿真结果验证

    1.验证的基本方法

    在掺杂仿真过程中，验证结果的准确性是非常重要的一步。仿真结果的验证通常包括以下几种方法：

    1.1与实验数据对比

    将仿真结果与实验数据进行对比是最直接的验证方法。实验数据可以提供实际的掺杂浓度分布、电学特性等信息，通过与仿真结果的对比，可以评估仿真的准确性。具体步骤如下：

    收集实验数据：在实际工艺中，通过二次离子质谱（SIMS）、霍尔效应测试等方法获取掺杂浓度分布和电学特性数据。

    仿真数据提取：从仿真软件中提取相应的掺杂浓度分布和电学特性数据。

    数据对比：将实验数据与仿真数据进行对比，计算偏差和误差。

    1.2与理

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