1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 汽车/机械/制造
  5. 加工工艺

制造工艺仿真：光刻仿真_（2）.光刻系统的组成及工作原理.docx

制造工艺仿真：光刻仿真_（2）.光刻系统的组成及工作原理.docx

    1. 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
    2. 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
    3. 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
    查看更多

    PAGE1

    PAGE1

    光刻系统的组成及工作原理

    光刻技术是集成电路制造过程中的关键步骤之一，它用于将电路设计图案精确地转移到硅片上。光刻系统由多个组件组成，每个组件在光刻过程中都扮演着重要的角色。本节将详细介绍光刻系统的各个组成部分及其工作原理。

    光刻系统的组成部分

    1.光源

    光源是光刻系统的核心组件之一，它提供必要的能量来曝光光刻胶。常见的光源类型包括：

    汞灯（Hglamp）：传统的汞灯光源，波长范围较广，但现在已经较少使用。

    准分子激光器（Excimerlaser）：现代光刻系统中最常用的光源，波长范围在深紫外区（DUV），如KrF激光（248nm）和ArF激光（

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    找工业软件教程找老陈 + 关注
    实名认证
    服务提供商

    寻找教程；翻译教程；题库提供；教程发布；计算机技术答疑；行业分析报告提供；

    咨询作者（448人已咨询） 已休息

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >