深度解析(2026)《GBT 16879-1997掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则》.pptxVIP

深度解析(2026)《GBT 16879-1997掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则》.pptx

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一掩模曝光系统“精度双核心”：精密度与准确度的本质区别及行业应用逻辑——专家视角深度剖析

二标准制定的时代必然与行业根基：为何1997年要确立掩模曝光系统精度表示准则？——追溯标准诞生的核心动因

三精度指标的“量化标尺”：GB/T16879-1997中核心参数的定义计算及验证逻辑是什么？——实操层面全拆解

四掩模与曝光的“协同精度”：如何通过标准约束实现掩模制备与曝光过程的精度匹配？——关键环节关联性解析

五测试方法的“权威性保障”：标准规定的精度测试流程设备及数据处理要求有何独到之处？——专家视角谈实操规范

六行业应用“差异化适配”：

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