电子工业废气处理工程设计标准.docxVIP

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前言

本标准是根据住房和城乡建设部《关于印发2013年工程建设标准规范制订、修订计划的通知》建标〔201376号的要求，由工业和信息化部电子工业标准化研究院、中国电子工程设计院有限公司会同有关单位共同编制完成。

在标准编制过程中，编写组根据我国的集成电路(IC)、薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)以及新型有机发光显示器(OLED)为代表的电子工厂生产过程中使用的化学品种类及废气污染因子排放的实际情况，进行了广泛的调查研究，收集了有关电子工厂废气污染因子的种类和设计处理要求，认真总结实践经验，同时考虑我国目前生产的现状，参考国外有关的规范标准，广泛征求了全国有关单位与个人意见，最后经审查定稿。

本标准的主要技术内容是：总则、术语、基本规定、工艺及工艺设备、碱性废气系统、酸性废气系统、挥发性有机物废气系统、特种废气系统、除尘系统、电子玻璃窑炉废气系统、事故通风、电气设计等。

本标准中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。

本标准由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由工业和信息化部负责日常管理，由中国电子工程设计院有限公司负责具体技术内容的解释。执行过程中如有意见或建议，请寄至中国电子工程设计院有限公司《电子工业废气处理工程设计标准》管理组(地址：北京市海淀区西四环北路160号，邮编：100142,传真：010邮箱：yandong@ceedi.cn)。

本标准主编单位：工业和信息化部电子工业标准化研究院

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中国电子工程设计院有限公司

本标准参编单位：世源科技工程有限公司

信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司

清华大学

同济大学

上海电子工程设计研究院有限公司上海华懋环保节能设备有限公司奥意建筑工程设计有限公司

北京京东方光电科技有限公司深圳市华星光电技术有限公司三星工程建设(上海)有限公司北京康肯环保设备有限公司

上海华力微电子有限公司

中国电子科技集团第五十五研究所应用材料(中国)有限公司

中国电子系统工程第四建设有限公司天津市武清区环境工程设备有限公司苏州艾特斯环保设备有限公司

爱美克环保工业(武汉)有限公司东莞兆能环境科技有限公司

中国电子系统工程第二建设有限公司上海盛剑环境系统科技有限公司

唐纳森(中国)贸易有限公司

上海点夺电子科技有限公司

本标准主要起草人员：秦学礼肖红梅江元升莫金汉阎冬羌宁陆崎徐刚杜宝强赵海生湛云忠李杨吴新何菁李朝英永井勇

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林云韩科勇颜登通曹布霖云希康邱会东黄桂超张作保巫曼曼蒋磊张伟明丁宏伟钟平

本标准主要审查人员：刘俊杰任兆成丁杰阎宇宏刘强王素英李坚明慧玲张利群

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目次

1总则 (1)

2术语 (2)

3基本规定 (5)

4工艺及工艺设备 (12)

4.1一般规定 (12)

4.2污染物控制 (12)

4.3应急设施 (12)

5碱性废气系统 (14)

5.1一般规定 (14)

5.2处理流程和方法 (14)

5.3处理设备 (14)

5.4风管及附件 (16)

6酸性废气系统 (17)

6.1一般规定 (17)

6.2氮氧化物、高浓度酸及电镀废气 (17)

7挥发性有机物废气系统 (19)

7.1一般规定 (19)

7.2废气收集、排风管道系统 (20)

7.3处理系统 (20)

7.4处理设备 (22)

7.5自动控制及安全措施 (24)

8特种废气系统 (26)

8.1一般规定 (26)

8.2烷类尾气处理系统 (26)

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8.3全氟化合物(PFC)尾气处理系统 (27)

8.4其他特种尾气处理系统 (28)

8.5中央废气处理系统 (28)

9除尘系统 (30)