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一种烘烤控制方法在透射电子显微镜中的应用研究米保良,等

一种烘烤控制方法在透射电子显微镜中的应用研究

ResearchonApplicationoftheBakingControlMethodinTEM

米保良吴国增

(聊城大学东昌学院,山东聊城252000)

摘要:研究了一种烘烤控制方法在透射电子显微镜中的应用,通过分析透射电子显微镜获得高真空的方法,提出引入物镜烘烤的

必要性。对物镜烘烤的控制特点进行了详细分析,并对控制电路进行了仿真分析。经过反复测试验证,该物镜烘烤控制方法符合透

射电子显微镜获得高真空工艺的控制要求。

关键词:透射电子显微镜(TEM)物镜烘烤真空获得热敏电阻

中图分类号:TH74;TN7文献标志码:ADOI:10.16086/j.cnki.issn1000-0380.201508022

Abstract:Theapplicationofbakingcontrolmethodintransmissionelectronmicroscopy(TEM)isresearched,throughanalyzingthemethodof

obtaininghighvacuuminTEM,thenecessityofobjectivelensbakingisintroduced.Thecontrolfeaturesofobjectivelensbakingareanalyzed

indetail,thecontrolcircuitryissimulatedandanalyzed.Repeatedtestingandcertificationshowthattheobjectivelensbakingcontrolmethod

conformsthecontrolrequirementofacquiringhighvacuumtechnologicalprocessofTEM.

Keywords:Transmissionelectronmicroscopy(TEM)ObjectivelensBakingVacuumacquisitionThermistor

多余的气体。根据实际情况对物镜进行加热,从而

0引言

增强分子布朗运动,可以最大程度地抽出更多气体,

透射电子显微镜(transmissionelectronmicroscopy,[2]

使之真空度达到要求。文献[3]提出具有独立温

TEM)真空系统的作用是使镜筒内部获得高真空。如控单元的模具温控装置,文献[4]、[5]分别提出了

果镜筒内真空度差,将导致气体分子与高速电子相互恒温控制系统设计和基于模糊推理算法的燃气热水

作用而随机地散射电子,就会降低象的反差;其次,如器恒温控制系统。

果电子枪中存在残余气体,会产生电离和放电,引起电为获得高真空,本文结合TEM真空工艺,研究了

子束发射不稳定;第三,残余气体与白炽灯丝发生作一种烘烤控制方法,并应用在透射电子显微镜中。搭

用,会降低灯丝寿命;第四,残余气体在样品周围会污建了一款物镜烘烤控制用电路,经过验证测试,电路符

染样品。电镜最理想的状态是把镜筒内的气体抽去之合透射电子显微镜获得高真空工艺的控制要求。

后,密封镜筒并把泵关闭,但这不可能实现。因为气体

1物镜烘烤控制过程分析

会不断地通过很小的漏缝进入系统,同时也会从镜筒

内壁表面