POU纯化器，全球前13强生产商排名及市场份额（by QYResearch）.pdfVIP

全球市场研究报告

POU纯化器是一种用于气体供给系统末端的设备，旨在去除气体中的有害物质、杂质或污染物，确保气体

在最终使用质量符合应用需求。与传统的气体净化系统不同，POU气体纯化器通常安装在气体系统的最后

阶段，直接连接至使用设备，确保纯净的气体在进入应用设备或系统时，已被净化至所需标准。POU纯化

器主要由壳体、吸附滤料、滤芯、进出口接头等组成，其中接头类型有VCR、SW、NPT等，它广泛应用于

Scanner，PVD/CVD，Etch，Implant等点位，特别在薄膜沉积环节，工艺气体作为薄膜原材料之一，且沉

积薄膜种类多，使用的特气种类多；同时，薄膜每层要求不同，使用的辅助工艺气体也不同。因此，工艺

气体的纯度直接影响了薄膜的性能。此外，光刻过程中，也需要使用高纯度的CDA或N2等工艺气体作为

吹扫气，以防止lens的污染。

随着全球半导体、LED、光伏等高科技产业加速扩张，对氮气、氩气、氢气等超高纯气体需求快速提升。

POU纯化器作为终端气体净化方案，可满足芯片制造等工艺对9N级以上纯度气体的严格要求，支撑下游

行业产能扩张。

POU纯化器上游核心原料的供给状况整体稳定，但技术门槛与供应格局因材料特性而异。不锈钢作为基础

结构材料，其供应充沛且高端产品的附加值主要体现在设计及电解抛光等后处理工艺上，因此受原材料价

格波动的影响相对较小。关键的吸附剂与催化剂方面，技术路线多样且持续发展，其中催化触媒技术能有效

吸附气体中的H₂O、O₂、CO等杂质，是应用广泛的纯化方案；同时，以具备高比表面积的颗粒活性炭为代

表的吸附剂，在针对有机硫化合物等特定杂质的去除上也展现出显著效果。对于高洁净接头这类精密部件，

其与阀门、仪表等同属于高纯工艺系统的重要配件，当前市场供应充足，高端领域虽仍以进口产品为主导，

但整体不存在短缺问题。

据QYResearch调研团队最新报告“全球POU纯化器市场报告2025-2031”显示，预计2031年全球POU

纯化器市场规模将达到3.3亿美元，未来几年年复合增长率CAGR为7.0%。

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图.POU纯化器，全球市场总体规模

全球市场规模($Mn)

202020252031

来源：QYResearch电子及半导体研究中心

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图.全球POU纯化器市场前13强生产商排名及市场占有率（基于2024年调研数据；目前最新数据以

本公司最新调研数据为准）

全球市场主要企业排名

Entegris

Donaldson

Porvair

TaiyoNipponSansoEngineering

Corporation

上海先普

MottCorporation

湖北玖恩智能科

AppliedEnergySystems

大连华邦化学

大连中鼎化学

飞潮新材