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光伏制造常识题库及答案

1.多晶硅生产中,改良西门子法的核心反应是三氯氢硅(SiHCl?)在还原炉内被氢气还原生成多晶硅,该反应的化学方程式是什么?

答案:SiHCl?+H?→Si+3HCl(反应条件为1080-1150℃,硅芯通电加热)。

2.直拉单晶硅(CZ法)生长过程中,晶转与埚转的转速比通常控制在什么范围?其主要作用是什么?

答案:晶转与埚转转速比一般为1:1至1:3(如晶转10-15rpm,埚转5-10rpm)。通过反向旋转可改善熔硅对流,均匀温度场,减少氧碳杂质分布不均问题。

3.单晶硅棒生长时,氩气的通入流量通常为多少?其在炉内的主要作用包括哪些?

答案:氩气流量一般控制在50-150L/min(具体与炉型相关)。作用包括:①隔绝空气,防止硅熔体氧化;②带走还原反应产生的HCl、SiO等副产物;③通过气流扰动调节熔硅表面温度梯度,影响晶体生长界面形态。

4.光伏级多晶硅的纯度要求通常为多少N?N型硅料与P型硅料的主要区别是什么?

答案:光伏级多晶硅纯度需≥9N(99.9999999%)。N型硅料以磷(P)为掺杂剂,电阻率较高(通常1-10Ω·cm);P型硅料以硼(B)为掺杂剂,电阻率较低(通常0.5-3Ω·cm),二者分别用于生产N型和P型太阳能电池。

5.硅片切割过程中,使用的金刚线线径对切割效率和硅片质量有何影响?当前主流单晶PERC电池对应的硅片厚度是多少?

答案:线径越细(如38-45μm),切割损耗(线损)越小,出片率越高,但线径过细易断丝;线径越粗(如50μm以上),切割稳定性提升,但硅料浪费增加。当前主流单晶PERC电池硅片厚度为160-170μm(薄片化趋势下部分产线已降至150μm以下)。

6.硅片制绒工序中,单晶硅与多晶硅的制绒原理有何差异?单晶硅制绒常用的腐蚀液配方是什么?

答案:单晶硅利用各向异性腐蚀(在KOH/NaOH+IPA溶液中,沿100晶向腐蚀速率快于111晶向)形成金字塔绒面;多晶硅因晶向无序,需用HF+HNO?的各向同性腐蚀形成凹坑状绒面。单晶硅制绒液典型配方为:KOH浓度1-3wt%,异丙醇(IPA)浓度5-10wt%,温度75-85℃。

7.太阳能电池扩散工序中,常用的磷源是什么?扩散后形成的PN结结深一般控制在多少?方阻范围是多少(以P型硅衬底为例)?

答案:常用磷源为液态三氯氧磷(POCl?)或固态磷源(如磷浆)。PN结结深通常为0.3-0.5μm(PERC电池约0.4μm),方阻控制在80-120Ω/□(常规BSF电池约60-80Ω/□,TOPCon电池因需要更浅结深,方阻可达120-180Ω/□)。

8.电池片刻蚀工序的主要目的是什么?湿法刻蚀与等离子体刻蚀(干法刻蚀)的适用场景有何不同?

答案:刻蚀工序用于去除硅片边缘的PN结(防止边缘漏电)及背面的磷硅玻璃(PSG)。湿法刻蚀(HF+HNO?溶液)适用于多晶硅电池,可同时完成边缘刻蚀和去PSG;干法刻蚀(SF?/O?等离子体)适用于单晶硅电池,刻蚀精度更高,对绒面损伤小。

9.太阳能电池减反膜的主要材料是什么?其折射率需满足什么条件才能实现最优减反效果?(假设硅的折射率为3.5)

答案:减反膜主流材料为氮化硅(SiNx),部分高效电池(如HJT)使用氧化硅(SiO?)+氮化硅叠层膜。根据quarter-wave减反原理,理想折射率n=√n_substrate(n_substrate为硅折射率3.5),因此SiNx折射率需控制在1.8-2.0(实际生产中通常为1.9-2.0),厚度约75-85nm(对应550nm波长)。

10.PERC电池的关键工艺是背面钝化,其钝化层通常由哪两种材料组成?各自的作用是什么?

答案:PERC电池背面钝化层为氧化铝(Al?O?)+氮化硅(SiNx)叠层结构。Al?O?通过固定负电荷(~1e12-1e13cm?2)实现场钝化,有效降低硅表面少子复合;SiNx作为减反层(提升长波吸收)并保护Al?O?层,同时提供氢钝化(减少界面缺陷)。

11.太阳能电池金属化工艺中,正银浆料与背银/背铝浆料的主要成分差异是什么?烧结过程分为哪三个阶段?

答案:正银浆料含高纯度银粉(98-99%)、玻璃粉(PbO/Bi?O?体系,用于刻蚀减反膜并与硅形成欧姆接触)及有机载体;背银/背铝浆料含铝粉(背铝)或银粉(背银)、玻璃粉(低熔点,如B?O?-SiO?体系)及有机载体。烧结分为:①干燥阶段(150-300℃,挥发有机载体);②烧结阶段(750-850℃,玻璃粉熔融刻蚀减反膜,金属颗粒熔接);③冷却阶段(形成稳固的金属电极)。

12.电池片效率测试的标准条件(STC)是什么?开路

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