原创力文档聚焦离子束-扫描电子双束显微镜的参数及功能介绍
材料制备与表征平台——电子显微镜子平台于2021年3月正式对外开放聚
焦离子束-扫描电子双束显微镜（FIB-SEM）的预约测试服务。
图1NX5000型聚焦离子束-扫描电镜系统
FIB-SEM具有离子光学和电子光学双系统，在FIB-SEM双束系统中，聚焦
离子束和电子束能够优势互补。离子束成型衬度大，但存在损伤样品和分辨率低
的缺点，电子束激发的二次电子成像分辨率高，对样品的损伤小，但衬度低，两
者组合可获得更清晰准确的样品表面信息。聚焦离子束
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