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文章编号2095‑1531(2021)01‑0153‑10
电致发光的完全悬浮超薄硅衬底氮化镓基蓝光
LED器件的与表征
,沙源清,,,*(邮
电大学通信与学院,江苏210003)
：为了提高硅衬底氮化镓基LED（发光二极管）器件的光电性能和出光效率，本文提出了一种通过背面工艺实现
的悬空薄膜蓝光LED器件。
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