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基于谐振模式的三维纳米测头触发方法的创新与实践

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的迅猛发展，超精加工和超微加工技术引领我们进入了纳米技术的崭新时代。在这个时代，微电子机械系统（MEMS）、超精密光学器件等微纳米结构的特征尺寸不断朝着微型化方向发展，这些微纳米结构的特征尺寸不断缩小，对其进行真三维测量的精度要求也日益严苛，已达到纳米、亚纳米量级，同时，测量力需控制在微牛甚至纳牛量级。例如，在半导体芯片制造中，芯片上的晶体管尺寸已经缩小到几纳米，这就要求对芯片的三维形貌和尺寸测量必须达到相应的精度，否则会影响芯片的性能和功能。又如，在超精密光学器件中，微小的表面形貌缺陷都可能导致光线