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基于位移测量的差动电容传感器：原理、设计与应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业生产和科学研究领域，位移测量作为一项基础且关键的检测技术，广泛应用于机械制造、航空航天、汽车工业、生物医学等诸多行业。精确的位移测量不仅是保证产品质量和生产安全的重要前提，也是推动科学研究不断深入发展的核心支撑。随着科技的飞速进步，对位移测量的精度、灵敏度和稳定性提出了越来越高的要求，传统的位移传感器已难以满足这些日益严苛的需求。

差动电容传感器作为一种基于电容变化原理的高精度位移测量装置，以其独特的优势在位移测量领域崭露头角。与传统传感器相比，它具有结构简单、分辨率高、动态响应快、可非接触测