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第17届IFAC系统辨识大会预印本国际会议2015年10月
19‑21日
具有二阶动态响应传感器的盲特性分析
PhilipD.Gilpie∗PeterC.Hung∗∗RobertJ.Kee∗∗∗Se´anF.
McLoone∗∗∗∗
∗电子、电气工程与计算机科学学院,贝尔法斯特大学(电子邮
件:pgilpie05@qub.ac.uk)∗∗系,国立大学梅努
斯学院,梅努斯,基尔代尔郡(电子邮件:
∗∗∗
phung@eeng.nuim.ie)机械与,贝尔法斯特女
∗∗∗∗
王大学(电子邮件:r.k@qub.ac.uk)电子、电气工程与计算机
科学学院,贝尔法斯特大学(电子邮件:
s.mcloone@qub.ac.uk)
:温度传感器动态响应的补偿通常涉及基于测量输出和模型参数来估计其输入。在温度测量
中,传感器的动态响应强烈依赖于测量环境和fluid速度。因此,估计时变传感器模型参数需
要持续的insitu辨识。这可以通过使用两个具有不同动态特性的传感器,并利用结构冗余从所
得的数据流中推导传感器模型来实现。大多数现有方法都假设传感器具有一阶动态特性。然而在
实际中,当传感器被安装在保护套管中时,二阶模型更能反映温度传感器的动态特性。因
此,本文提出了一种新颖的差分方程方法,用于解决具有二阶模型的传感器盲辨识问题。该方法
基于估计一个辅助的ARX模型,其参数通过一组耦合的非线性代数方程与所需的传感器模型参数
相关联。ARX模型可以使用常规的系统辨识技术进行估计,非线性方程则可以解析求解,从而得
到传感器模型的估计值。仿真结果表明了所提出方法在各种输入和参数条件下的有效性。
:盲辨识fi,传感器,温度测量,系统辨识fi。
1.引言使用接触式温度传感器(如热电偶或电阻温度检测器
(RTDs))的测量系统的准确性取决于传感器与晶圆表
温度测量是一个基本的测量量,也是世界中七个国际面之间的热接触程度(Tan等(2006))。如果传感器与
单位制(SI)基本单位之一。传统上,温度测量需要将温晶圆之间未能实现良好的热接触,测量误差可能会非常显
度计测量环境中,并在测量稳定后数值。尽管这著fi,从而需要某种校正方法。
在许多应用中被认为足够,但在温度ffi波动的情况下可能
fl不够精确。在多种替代技术中,热电偶了一种低成一种可用于补偿传感器测量误差的方法是使用基于软件的补偿技术
本且可靠的方法,可用于宽范围的温度测量(Childs来增加传感器的有效带宽。该方法的一个要求是在进行补偿之前,
(2001))。然而,基于热电偶的温度测量系统设计需需要有传感器的动态模型并已知传感器模型参数。此外,估计的参
要在可靠性和响应速度之间进行权衡。当测量的温度fl数应考虑到测量环境以及任何其他影响传感器动态特性的因素。换
句话说,模型参数应在传感器处于原位时进行估计。一种被称为环
波动频率显著高于传感器带宽时,这带来了重大。获
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