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2025年静电场驱动微纳结构光致形变机制
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2025年静电场驱动微纳结构光致形变机制
摘要:随着微纳技术的发展,静电场驱动微纳结构的光致形变机制研究具有重要意义。本文针对2025年的研究现状,对静电场驱动微纳结构光致形变机制进行了系统研究。首先,介绍了静电场驱动微纳结构的基本原理和光致形变现象;其次,分析了静电场和光场对微纳结构形变的影响;再次,详细探讨了光致形变过程中的应力分布和能量转换;最后,总结了静电场驱动微纳结构光致形
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