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集成电路制造工艺 课件 6.1 平坦化的基本原理.pptx

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    集成电路制造工艺

    --平坦化的基本原理单位：江苏信息职业技术学院微电子教研室

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    §6.1平坦化的基本原理平坦化就是一种移除表面凹凸，使晶片表面保持平整平坦的工艺。2.平坦化

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