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集成电路制造工艺 课件 7.2 单晶硅的质量检验.pptx

集成电路制造工艺 课件 7.2 单晶硅的质量检验.pptx

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    集成电路制造工艺

    --硅单晶的制备

    单位：江苏信息职业技术学院

    微电子教研室

    第七章衬底制备

    第七章衬底制备

    §7.2硅单晶的质量检验

    单晶锭拉完以后，主要从以下几个方面进行质量检验：

    物理性能

    是否单晶

    晶向

    直径

    电气参数

    导电类型

    电阻率

    少子寿命

    载流子迁移率

    缺陷

    位错

    微缺陷

    一.物理性能的检验

    1.单晶体的检验：

    2.晶向的测定：

    三根或六根：

    （111）晶向

    四根或八根：

    (100）晶向

    六根不对称：

    （110）晶向

    （2）位错腐蚀法：

    （1）根据棱线的数目判定晶向：

    原理：位错处原子排列不规则，所以位错处原子首先被腐蚀，不同的晶向，腐蚀坑的形

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