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PLD法生长ZnMgO三元薄膜及紫外探测器制备研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，紫外探测技术在军事和民用等诸多领域都展现出了不可或缺的价值，已成为各国竞相发展的关键技术之一。在军事领域，紫外探测技术在导弹预警、制导、紫外通讯、生化分析等方面发挥着重要作用。例如，在导弹预警系统中，紫外探测器能够快速捕捉导弹发射时产生的强烈紫外信号，为防御系统争取宝贵的反应时间，从而有效提升国防安全预警能力；在紫外通讯中，其独特的优势在于能够实现抗干扰、隐蔽性强的通信，特别适用于军事保密通信场景。在民用领域，紫外探测技术同样应用广泛，如明火探测、生物医药分析、臭氧监测、海上油监、太阳照度监测、公安侦察等。以明火探测为例，利用紫外探测器可以迅速检测到火灾初期产生的紫外线，实现火灾的早期预警，极大地降低火灾造成的损失；在臭氧监测中，精确探测臭氧浓度对于评估大气环境质量、保护生态平衡至关重要。

传统的紫外探测技术多依赖于对紫外敏感的光电倍增管和类似的真空器件，然而，这些器件存在体积大、功耗高、稳定性差等明显缺陷，严重限制了其在一些对设备小型化、低功耗和高稳定性有严格要求的场景中的应用。随着半导体技术的飞速发展，宽禁带半导体材料因其独特的物理性质，如热导率高、抗辐射能力强、电子饱和漂移速度高以及性能稳定等，在研制新型紫外探测器方面展现出显著的材料性能优势，逐渐成为紫外探测领域的研究热点。

氧化锌（ZnO）作为一种典型的II-Ⅵ族宽禁带半导体材料，在室温下禁带宽度为3.37eV，在紫外光探测领域具有巨大的应用潜力。其原料来源广泛、价格相对低廉，成膜工艺相对成熟，稳定性良好，与其他宽禁带材料如GaN、SiC等相比，具有独特的竞争优势。通过向ZnO中掺入Mg元素，形成ZnMgO三元合金，可实现禁带宽度在3.3eV（ZnO）至7.8eV（MgO）之间可调。ZnMgO吸收边在紫外光区随Mg含量的增加而蓝移，能够覆盖地球大气臭氧层吸收的主要窗口200-280nm，进而实现日盲区紫外光的探测，在军事和民用领域都具有巨大的应用价值。

此外，ZnMgO三元薄膜还具有优异的光学与电学性质，在蓝紫外波段有良好的透过率和较高的导电性能，同时具有较高的载流子迁移率和热稳定性等特性，使其在紫外光电探测器等领域具有广泛的应用前景。因此，对ZnMgO三元薄膜生长及紫外探测器制备的研究具有重要的科学意义和实际应用价值。

1.2国内外研究现状

对ZnMgO基紫外探测器的研究最早由美国开始。2001年，美国马里兰大学物理系Yang等与美国军方实验室的Shen合作，采用脉冲激光沉积（PLD）方法在f平面蓝宝石上外延生长出Zn?.??Mg?.??O薄膜，薄膜具有高度c轴取向和较好的结晶质量，并首次制作出ZnMgO基MSM结构光导紫外探测器，该探测器对308nm的紫外光响应度高达1200A/W，紫外可见光抑制比大于4个数量级，10%-90%上升时间和下降时间分别为8ns和1.4ns，具有较为优异的探测性能。

2003年，为实现Si基紫外光电器件的集成开发，该小组采用三步法沉积SrTiO?缓冲层，在Si（100）基底上外延生长出Mg含量为68%的立方ZnMgO三元合金薄膜，并以Au为叉指电极制备出响应峰在225nm的日盲区紫外探测器。但由于薄膜结构缺陷、Mg含量的成分起伏以及较弱的紫外光照射，其紫外可见光抑制比仅大于1个数量级。同年，该小组的LTakeuchi等报道了Mg含量从0到81%连续变化时薄膜的相分离机制，并在此基础上制备了含有25个探测单元的单片多通道紫外探测阵列，每个探测单元的响应时间为8ns，可探测波长为288-380nm的紫外光。

2005年，同组的Hullavarad等分别在石英与蓝宝石基底上制备了Zn?.??Mg?.??O基MSM紫外探测器。此后，国内外众多研究小组对ZnMgO基紫外探测器展开了深入研究，在薄膜生长工艺、探测器结构设计和性能优化等方面取得了一系列进展。例如，通过优化PLD工艺参数，如激光能量、脉冲频率、沉积温度和氧气压力等，提高了ZnMgO薄膜的质量和结晶度；采用不同的基底材料，如Si、蓝宝石、MgO等，研究了基底与薄膜之间的晶格匹配和界面特性对薄膜生长和探测器性能的影响；设计了多种探测器结构，如MSM叉指结构、PN结结构、肖特基结结构等，并通过优化电极形状、间距和材料等，提高了探测器的响应度、响应速度和紫外可见光抑制比等性能参数。

然而，当前研究中仍然存在一些不足与挑战。一方面，ZnMgO薄膜的生长过程中，Mg含量的精确控制和