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MEMS固体化学微推进阵列：从设计构思到性能洞察

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，航天领域和微型机器人领域对微小、高效且精确可控的推进系统的需求日益增长，MEMS固体化学微推进阵列应运而生，并在这些领域中占据着举足轻重的地位。

在航天领域，各类卫星和航天器对推进系统的要求愈发严格。微小卫星和纳米卫星由于其体积小、重量轻的特点，传统的大型推进系统无法适用于它们，而MEMS固体化学微推进阵列凭借其微型化的设计，能够轻松集成到微小卫星中，为其提供精确的姿态控制和轨道调整能力。在卫星的编队飞行任务中，各卫星之间需要保持精确的相对位置和姿态关系，MEMS固体化学微推进阵列以其高精度的推力控制特性，能够实现对卫星的精细操控，确保编队飞行的顺利进行，为空间科学研究和应用提供有力支持。在深空探测任务中，传统推进技术在比推力、工作寿命等方面存在局限性，难以满足航天器长时间、远距离飞行的需求。而MEMS固体化学微推进阵列若能在技术上取得突破，提高比推力和延长工作寿命，将有可能为深空探测任务带来新的解决方案，助力人类对宇宙进行更深入的探索。

在微型机器人领域，微型机器人广泛应用于工业、医疗、军事等多个领域，而其在复杂环境中的运动和操作需要精确的动力支持。MEMS固体化学微推进阵列能够为微型机器人提供微小而可控的推力，使其能够在狭小空间内灵活移动，完成诸如管道检测、生物医学操作等任务。在医疗领域，微型机器人可搭载MEMS固体化学微推进阵列进入人体，进行精准的药物输送或疾病诊断，为现代医学的发展开辟新的道路。

对MEMS固体化学微推进阵列的研究具有多方面的关键意义。从技术发展角度来看，深入研究该推进阵列有助于推动微机电系统（MEMS）技术的进一步发展，突破现有技术在微型化、集成化、精确控制等方面的瓶颈，促进相关微加工工艺、材料科学等学科的协同发展。从应用拓展角度而言，研发性能更优的MEMS固体化学微推进阵列能够拓展其在航天、微型机器人等领域的应用范围，满足更多复杂任务的需求，推动这些领域实现跨越式发展，为人类探索宇宙、改善生活等目标提供更强大的技术支撑。

1.2国内外研究现状

国外对MEMS固体化学微推进阵列的研究起步较早，在多个方面取得了显著成果。美国在该领域处于领先地位，众多科研机构和高校投入大量资源进行研究。他们在设计方面，不断优化微推进阵列的结构，采用先进的仿真软件对微推进器的流场、温度场等进行模拟分析，以提高推进效率和推力性能。在制作工艺上，美国充分利用其成熟的半导体微加工技术，实现了高精度的微结构制造，如通过光刻、蚀刻等工艺制备出尺寸精确的微燃烧室和微喷管。在性能测试方面，建立了完善的测试平台，能够精确测量微推进阵列的推力、冲量、比冲等关键性能参数。美国还将MEMS固体化学微推进阵列应用于多个实际项目中，如在一些微小卫星的姿态控制和轨道调整任务中取得了良好的效果。

欧洲在MEMS固体化学微推进阵列研究方面也有独特的进展。欧洲空间局（ESA）支持的一些项目致力于开发适用于小卫星的微推进系统，通过国际合作整合各方优势资源。在制作工艺上，欧洲注重创新，结合微机械加工和增材制造等新技术，实现了推进系统的微型化和集成化。例如，荷兰代尔夫特理工大学在硅基自由分子流微功率电阻加热推力器研究方面取得重要突破，为微推进技术在微小卫星上的应用提供了新的思路和解决方案。

国内对MEMS固体化学微推进阵列的研究也在逐步深入并取得了一定成果。许多高校和科研院所积极开展相关研究工作，在设计方面，结合国内实际需求，提出了多种新颖的微推进阵列结构设计方案，并通过理论分析和数值模拟对其性能进行预测和优化。在制作工艺上，不断追赶国际先进水平，掌握了一系列关键的微加工工艺，如氧化硅膜沉积、光刻、金属蒸镀等，能够制备出性能良好的微推进器样机。在性能测试方面，搭建了相应的测试系统，对微推进阵列的各项性能指标进行测试和分析。在应用方面，国内也在积极探索将MEMS固体化学微推进阵列应用于微型卫星、微型机器人等领域，部分研究成果已进入工程应用研究阶段。

然而，现有研究仍存在一些不足与待突破点。在设计方面，虽然提出了多种结构方案，但如何进一步优化结构以提高推进效率和推力密度，同时降低能耗，仍是需要深入研究的问题。在制作工艺上，虽然已经掌握了一些关键工艺，但工艺的稳定性和重复性有待提高，高精度、低成本的大规模制造工艺仍需进一步开发。在性能方面，目前的MEMS固体化学微推进阵列在比推力、工作寿命等关键性能指标上与实际应用需求仍存在一定差距，需要通过材料创新、燃烧控制技术改进等手段来提升性能。在应用方面，虽然在航天和微型机器人领域有了初步应用，但如何更好地与实际系统集成，解决兼容性和可靠性问题，还需要进一步的研究和实