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半导体设备维护工程师岗位招聘考试试卷及答案

一、填空题（共10题，每题1分）

1.光刻机中承载晶圆并实现高精度定位的部件是______。

2.等离子体刻蚀设备产生等离子体的常用电源是______。

3.半导体设备维护中测量微小电压的工具是______。

4.晶圆传输系统常用的真空机械手类型是______。

5.设备预防性维护（PM）周期通常分为周、月、______三级。

6.防止静电损坏晶圆的关键部件是______。

7.CVD设备加热晶圆的常见方式有电阻加热和______。

8.故障排查“先外部后内部，先电源后负载”属于______原则。

9.真空系统检测漏率的常用仪器是______。

10.记录每次维护操作的文档是______。

答案：

1.晶圆台2.射频电源（RF）3.高精度万用表4.真空机械手（EndEffector）5.季度/年6.静电消除器（离子风扇）7.感应加热8.故障排查9.氦质谱检漏仪10.维护日志

二、单项选择题（共10题，每题2分）

1.以下不属于半导体核心制造设备的是？

A.光刻机B.刻蚀机C.洗衣机D.CVD设备

答案：C

2.ESD防护的无效措施是？

A.接地B.离子风扇C.穿防静电服D.直接触摸晶圆

答案：D

3.反应离子刻蚀（RIE）的主要特点是？

A.各向同性B.各向异性C.仅刻蚀金属D.仅刻蚀介质

答案：B

4.预防性维护的主要目的不包括？

A.降低故障频率B.提高生产效率C.延长设备寿命D.增加耗材消耗

答案：D

5.旋片泵的主要作用是获得？

A.高真空B.粗真空C.加热晶圆D.传输晶圆

答案：B

6.测量机械振动的工具是？

A.示波器B.振动分析仪C.万用表D.光谱仪

答案：B

7.控制气体流量的部件是？

A.MFCB.PLCC.CPUD.真空泵

答案：A

8.常见设备报警“E001”通常代表？

A.电源故障B.温度过高C.真空泄漏D.耗材耗尽

答案：A

9.晶圆清洗液不包括？

A.去离子水B.氢氟酸C.酒精D.汽油

答案：D

10.更换耗材应遵循的原则是？

A.先拆后装B.记录参数C.不用清洁D.随意更换

答案：B

三、多项选择题（共10题，每题2分）

1.半导体设备维护安全规范包括？

A.LOTO锁存挂牌B.穿PPEC.化学品安全D.高空防护

答案：ABCD

2.光刻机关键子系统包括？

A.光学系统B.晶圆台C.掩模台D.传输系统

答案：ABCD

3.故障排查常用方法有？

A.观察法B.测试法C.替换法D.逻辑分析法

答案：ABCD

4.真空系统组成部件包括？

A.真空泵B.真空计C.阀门D.管路

答案：ABCD

5.设备维护耗材包括？

A.过滤器B.密封圈C.电极片D.晶圆

答案：ABC

6.等离子体刻蚀影响因素包括？

A.气体种类B.压力C.功率D.温度

答案：ABCD

7.维护文档类型包括？

A.维护手册B.故障记录C.校准报告D.培训记录

答案：ABCD

8.预防性维护内容包括？

A.清洁过滤器B.更换密封圈C.校准传感器D.修复故障

答案：ABC

9.常用传感器类型包括？

A.温度传感器B.压力传感器C.流量传感器D.位置传感器

答案：ABCD

10.维护人员需掌握的技能包括？

A.机械维修B.电气调试C.软件操作D.化学分析

答案：ABCD

四、判断题（共10题，每题2分）

1.ESD会损坏晶圆，需严格防护。（√）

2.光刻机分辨率仅与光源波长有关。（×）

3.分子泵可直接从大气压获得高真空。（×）

4.PM需按固定周期执行，无需考虑设备状态。（×）

5.CVD气体纯度不影响沉积质量。（×）

6.晶圆传输机械手精度影响定位准确性。（√）

7.故障排查可直接断电拆卸内部部件。（×）

8.各向异性刻蚀适合高深宽比结构。（√）

9.更换过滤器后无需校准。（×）

10.维护日志仅记录故障维修。（×）

五、简答题（共4题，每题5分）

1.简述LOTO锁存挂牌的作用及要点。

答案：LOTO是防止设备意外启动的安全措施，作用是避免触电、机械伤害。要点：①识别所有电源/气源；②断开并锁上开关；③挂牌标注维护人、时间、内容；④测试确认能源切断；⑤维护后按流程移除锁牌。需严格执行，防止误操作。

2.PM与CM的区别是什么？

答案：PM是主动维护，按周期清洁、换耗材、校准，预防故障；CM是被动维护，故障后修复。PM降低CM频率，减少停机；CM是应急处理，成本高。两者结合是设备维护核心策略。

3.真空系统漏率检测的常用方法及注意事项？

答案：常用方法：氦质谱检漏仪（喷氦/吸氦法）、压力衰减法。注意：①检测前抽至合适压力；②喷氦量适中，避免污染；③重点检查密封圈、阀门；④记录漏率，超阈值维修。

4.晶圆传输系统常见故障及排查思路？

答案：常见故障：定位不准、卡顿、真空泄漏。排查：①定位不准：查机械