2026年中国微机电系统行业市场全景评估及未来趋势研判报告.docx

研究报告

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2026年中国微机电系统行业市场全景评估及未来趋势研判报告

第一章行业概述

1.1行业定义及发展历程

微机电系统（MicroElectroMechanicalSystems，简称MEMS）是一种结合了微电子学和微制造技术的交叉学科技术。它通过微加工技术在硅片上制造出微型机械结构，能够实现传感、执行、处理等功能。MEMS技术最早起源于20世纪70年代的微电子学领域，最初用于制造微型传感器。随着技术的不断发展和完善，MEMS的应用领域逐渐扩大，涵盖了汽车、消费电子、医疗健康、航空航天等多个行业。

在我国，微机电系统行业的发展历程可以追溯到20世纪