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硅微谐振式加速度计温度特性解析与优化策略探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，惯性传感器作为获取物体运动状态信息的关键部件，在众多领域发挥着不可或缺的作用。硅微谐振式加速度计（SiliconResonantAccelerometer，SRA）作为惯性传感器的重要分支，凭借其高精度、宽动态范围、低功耗和小尺寸等显著优势，成为了MEMS惯性传感器领域的研究焦点，在军事及民用等诸多领域得到了极为广泛的应用。

在军事领域，硅微谐振式加速度计是惯性导航系统的核心元件之一。惯性导航系统不依赖于外部信号，具有自主性强、隐蔽性好等优点，能够为导弹、舰艇、飞机等武器装备提供精