CN113253543B 加工装置中的照明器的亮度的调整方法 （株式会社迪思科）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN113253543B(45)授权公告日2025.07.01

(21)申请号202110096717.0

(22)申请日2021.01.25

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN113253543A

(43)申请公布日2021.08.13

(30)优先权数据

2020-0107162020.01.27JP

(51)Int.CI.

GO3B15/03(2021.01)

(56)对比文件

CN105025231A,2015.11.04CN110223936A,2019.09.10审查员刘翠萍

(73)专利权人株式会社迪思科地址日本东京都

(72)发明人大森崇史宫田谕

(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127

专利代理师乔婉于靖帅

权利要求书2页说明书12页附图9页

(54)发明名称

加工装置中的照明器的亮度的调整方法

(57)摘要

CN113253543B本发明提供加工装置中的照明器的亮度的调整方法，降低照明器间的亮度差异。在第1加工装置中，存储装置将通过以由第1控制值指定的照明器的亮度对被加工物的规定图案进行拍摄而得到的样本图像与第1控制值一起存储并与加工条件一起复制并存储在第2加工装置的存储装置中，在第2加工装置中，存储装置存储通过以由不同的多个控制值指定的照明器的亮度对被加工物的规定图案进行拍摄而得到的多个比较图像，对样本图像和多个比较图像进行比较，将拍摄相对于样本图像的明暗的差最小的比较图像时的控制值确定为第2控制值，将第2控制值与第

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(B)

CN113253543B权利要求书1/2页

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1.一种加工装置中的照明器的亮度的调整方法，其特征在于，

该加工装置中的照明器的亮度的调整方法具有如下的步骤：

第1存储步骤，在分别具有相机单元、加工单元以及存储装置的多个加工装置中的第1加工装置中，该第1加工装置的该存储装置将按照由第1控制值指定的照明器的亮度对设置于被加工物的规定的图案进行拍摄而得到的样本图像与该第1控制值一起进行存储，其中，该相机单元具有亮度能够调整的该照明器、物镜以及拍摄元件，通过使从该照明器向该被加工物照射的光的反射光经由该物镜而入射到该拍摄元件来拍摄该被加工物，该加工单元根据由该相机单元得到的图像来对该被加工物进行加工，该存储装置存储指定该照明器的亮度的控制值和对该被加工物进行加工时的该加工单元的加工条件；

复制步骤，将存储在该第1加工装置的该存储装置中的该样本图像和该第1控制值与该第1加工装置中所使用的加工条件一起复制，并存储在第2加工装置的该存储装置中；

第2存储步骤，在该第2加工装置中，该第2加工装置的该存储装置存储按照由不同的多个控制值指定的该照明器的亮度对该被加工物的该规定的图案进行拍摄而得到的多个比较图像；

控制值确定步骤，对该样本图像和该多个比较图像进行比较，将拍摄了相对于该样本图像的明暗的差最小的比较图像时的控制值确定为第2控制值；以及

校正值设定步骤，将该第2控制值与该第1控制值之差作为该第2加工装置相对于该第1加工装置的控制值的校正值而设定在该第2加工装置中。

2.根据权利要求1所述的加工装置中的照明器的亮度的调整方法，其特征在于，

在该控制值确定步骤中，在该样本图像与各比较图像的纵向和横向的各相同位置，计算示出构成图像的各像素的亮度的程度的数值之差，并对该差的总和进行比较。

3.根据权利要求1或2所述的加工装置中的照明器的亮度的调整方法，其特征在于，

该照明器具有：同轴落射照明单元，其沿着该物镜的光轴照射光；以及侧射照明单元，其照射相对于该物镜的光轴倾斜的光，

在该第1存储步骤中，该第1控制值包含第3控制值和第4控制值，该样本图像包含第1样本图像和第2样本图像，所述第1样本图像是按照该第3控制值仅点亮该同轴落射照明单元来对该被加工物的该规定的图案进行拍摄而得到的，所述第2样本图像是按照该第4控制值仅点亮该侧射照明单元来对该被加工物的该规定的图案进行拍摄而得到的，该第1加工装置的该存储装置将该第1样本图像和该第2样本图像与该第3控制值和该第4控制值一起进行存储，

在该第2存储步骤中，该第2加工装置的该存储装置存储多个第1比较图像和多个第2比较图像，